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  • 機器原子分析の原理と特徴 RBS (ラザフォード後方散乱) 分析 原理 RBS分析とはRutherford Backscattering Spectrometry(ラザフォード後方散乱分析法)の略で、MeVオーダーのヘリウムイオンを固体表面に照射し、試料中の原子核との弾性散乱によって、後方に跳ね返ってきたヘリウム...
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